据报道,该国产DUV的进展仍处于早期阶段。两位知情人士表示,这家上海公司计划今年制造约5台DUV机器,2027年约20台。与ASML相比,这一产量微不足道——ASML去年出货了131台浸没式DUV系统。 印尼特种兵小1 @bbloveu7777 · 2026-07-27